江苏创芯海微科技有限公司
 
 
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半导体参数分析仪
产品
产品型号
安捷伦B1500A
功能应用
能够进行晶圆或半导体器件IV 、IVT测量,测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描等,可用于半导体类芯片、传感器等电性能测试,如电压、电流、电阻。一般与配有8寸载物台的探针台配合使用,进行8英寸及以下尺寸的晶圆电性能测试。
产品参数
电压量程:±100V
电压分辨率:±0.2V量程内电压最高分辨率不大于0.5μV
电压精度:≤0.012%读数+120μV
电流量程:±100mA
电流分辨率:±100nA量程内电流最高分辨率不大于100fA
电流精度≤(0.05%读数+30pA+100fA×输出电压)


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